天准科技(688003.SH)公告，公司于2021年5月14日完成购买德国MueTec 公司100%股权的事宜，通过德国全资子公司间接持有其100%股权。MueTec 公司的主营业务是面向半导体领域的制造厂商提供针对晶圆类产品的高精度光学检测和测量设备，拥有多年服务于半导体领域客户的经验。

在完成收购后，公司加强了对MueTec 公司各方面的支持。在公司的支持下，MueTec 公司加大了对其现有产品线的技术升级力度，近期其Argos 系列产品的功能及技术指标在竞争中表现突出，获得德国著名光电半导体制造商的批量订单，订单总额超过350万欧元。

据悉，Argos 是MueTec 公司的高速全自动宏观缺陷检测产品，面向产品类型比较多的客户设计，系统配备自适应软件算法自动识别缺陷参数，能在光刻过程中实现100%晶圆检测，最高每小时可检测200片晶圆，同时进行晶圆正面和背面检测。该产品能使客户从抽样检测过渡到对晶圆的全检，从人工检测过渡到统计上可靠的自动化检测。

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